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iH系列半导体真空泵
iH系列半导体真空泵
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iH系列半导体真空泵

  • 详情说明

概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒
堆积,从而降低了总体占地面积。
技术数据

iH80

iH160

iH600

iH1000

iH1800

峰值速度

103 m3h-1

165 m3h-1

600 m3h-1

1000 m3h-1

1800 m3h-1


61 cfm

97 cfm

353 cfm

589 cfm

1060 cfm


1717 l min-1

2750 l min-1

10000 l min-1

16670 l min-1

30000 l min-1

极限真空

1 x 10-2 mbar

1 x 10-2 mbar

7 x 10-4 mbar

1 x 10-3 mbar

1 x 10-3 mbar


7.5 x 10-3 Torr

7.5 x 10-3 Torr

5.3 x 10-4 Torr

7.5 x 10-4 Torr

7.5 x 10-4 Torr


1 Pa

1 Pa

0.07 Pa

0.1 Pa

0.1 Pa

典型轴封氮流量

4 slm

4 slm

4 slm

4 slm

4 slm

进气口连接

ISO63

ISO63

ISO100

ISO100

ISO160

出口连接

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

15 psi 压降下典型冷却水流量

120 l h-1

120 l h-1

240 l h-1

240 l h-1

240 l h-1


2 l min-1

2 l min-1

4 l min-1

4 l min-1

4 l min-1

重量

240 kg

244 kg

415 kg

430 kg

502 kg

极限功率输入

2.7 kW

3.1 kW

3.4 kW

3.8 kW

4.1 kW

电机额定功率

3.5 kW

5.0 kW

6.1 kW

6.1 kW

7.0 kW

油容量

0.7 l

0.85 l

1.43 l

1.48 l

1.6 l

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